產(chǎn)品介紹:
四探針電阻率測試儀是按ASTM F84硅片電阻率測量的要求,用于對硅材料電阻率的測量。
規(guī)格參數(shù):
雙數(shù)字表:一個數(shù)字表在測量顯示硅片電阻率的同時,另一個數(shù)字表監(jiān)測過程中的電流變化。
電壓量程:0-199.9mV
基本誤差:±(0.4-0.5%讀數(shù)+0.1%)
靈敏度:100μV
輸入阻抗:1000ΜΩ
電阻率范圍:10-3~1.9×103Ω·cm
方塊電阻范圍:10-2 ~1.9×10^4Ω/□
具有電壓表自動復零功能,當四探針頭1、4探針間未有測量電流流過時,電壓表指零,1、4探針接觸到硅片,測量電流渡過單晶時,電壓表指示2、3探針間的電壓(即電阻率)值。
測量精度:<3%
電流量程:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA五檔
采用觸點電阻<5mΩ的轉(zhuǎn)換開頭及繼電器(>10%)