清潔度無塵室解決方案介紹

清潔度無塵實解決方案規(guī)劃布局

可根據(jù)不同的客戶要求進行清潔度無塵實驗室規(guī)劃布局：

清潔度無塵室解決方案整體規(guī)劃布局：

1.風淋室、傳遞穿、可視玻璃窗

2.凈化結(jié)構部分、凈化系統(tǒng)部分、配電系統(tǒng)

3.各個功能區(qū)域的劃分，例如：清洗制樣區(qū)域、顆粒分析區(qū)域、文件存放區(qū)域等

4.清潔度無塵室滿足ISO14644-2015、GB50073-2001等標準要求

清潔度無塵實驗室承建主要分為：

1.凈化結(jié)構部分

2.凈化系統(tǒng)部分

3.配電部分

清潔度無塵實驗室主要劃分為以下幾個區(qū)域：

1.員工更衣室區(qū)域

2.清洗制樣區(qū)域

3.樣品分析區(qū)域（稱重以及顆粒大小分析）

4.樣件傳遞區(qū)域

5.清洗液存放區(qū)域

6.文件存放區(qū)域

客戶現(xiàn)場提供220V電源，常規(guī)用水即可。

無塵室中不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

無塵室主要之作用在于控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為無塵室。按照慣例，無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對于光學構造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負面影響，所以在光學構造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無塵是必然的要求。

如表所示，每立方米將大于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下，就達到了無塵標準的*。應用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標準對于灰塵的要求高于*，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。