世jie第yi個*集成式Xe等離子源聚焦離子束掃描電子顯微鏡----FERA3，提供了超高離子束束流（zui高束流為2µA），其濺射速度比Ga離子源高50多倍。對于目前浪費時間或不可能進(jìn)行的需要刻蝕的材料，F(xiàn)ERA3型儀器是一個不錯的選擇。

新一代的聚焦離子束掃描電子顯微鏡為用戶提供了zui新的技術(shù)優(yōu)勢，例如：改進(jìn)的高性能電子設(shè)備使圖像采集得速度更快，帶有靜態(tài)和動態(tài)圖像扭曲補償技術(shù)的超高速掃描系統(tǒng)，內(nèi)置的編程軟件等。

FERA3的設(shè)計適應(yīng)各種各樣的SEM應(yīng)用與當(dāng)今研究和產(chǎn)業(yè)的需求，其高分辨率、高電流和強大的軟件使TESCAN FIB-SEM成為優(yōu)xiu的分析工具。

現(xiàn)代電子光路

• *的三透鏡大視野觀察（Wide Field Optics™）設(shè)計提供了許多工作與顯示模式，體現(xiàn)了TESCAN*可優(yōu)化電子束光闌的中間鏡設(shè)計
• 結(jié)合了完善的電子光學(xué)設(shè)計軟件的實時電子束追蹤（In-Flight Beam Tracing™），可模擬和優(yōu)化電子束
• 全自動的電子光路設(shè)置與合軸
• 成像速度快
• 使用3維電子束技術(shù)可獲取實時立體圖像
• 三維導(dǎo)航

高性能離子光路

• 高性能的等離子i-FIB設(shè)備使切片和材料的刻蝕既快又精確

維修簡單

現(xiàn)在保持電鏡處在優(yōu)xiu的狀態(tài)很簡單，只需要很短的停機(jī)時間。每個細(xì)節(jié)設(shè)計得很仔細(xì)，使得儀器的效率zui大化，操作zui簡化。

自動操作

電鏡除了可以自動化設(shè)置外，還可進(jìn)行聚焦、調(diào)節(jié)對比度/亮度等自動操作。除此之外，電鏡還有樣品臺自動導(dǎo)航與自動分析 程序，能明顯減少操作員的操作時間。通過內(nèi)置腳本語言（Python）可進(jìn)入軟件的大多數(shù)功能，包括顯微鏡控制、樣品臺控制、圖像采集、處理與分析等。通過腳本語言用戶還可以自定義自動操作程序。

用戶界面友好的軟件與軟件工具

• 用戶界面友好的操作系統(tǒng)基于Windows™平臺，多用戶和多語言操作界面
• 同時的FIB/SEM成像，易于操作
• 實時圖像支持多窗口模式，可自定義實時圖像參數(shù)
• 圖像處理，報告生成，在線與離線圖像處理
• 項目管理軟件
• 內(nèi)置的自動診斷（自檢）
• TCP/IP遠(yuǎn)程控制，網(wǎng)絡(luò)操作與遠(yuǎn)程進(jìn)入/診斷
• 免費升級軟件

FERA3 GM

FERA3 GM是一款由計算機(jī)*控制的Xe等離子聚焦離子束（i-FIB）場發(fā)射掃描電子顯微鏡，可選配氣體注入系統(tǒng) (GIS)，可在高真空和低真空模式下工作，其具有突出的光學(xué)性能、清晰的數(shù)字化圖像、成熟和用戶界面友好的SEM/FIB/GIS操作軟件等特點?；赪indows™平臺的操作軟件提供了簡單的電鏡操作和圖像采集，可以保存標(biāo)準(zhǔn)文件格式的圖片，可以對圖像進(jìn)行管理、處理和測量，實現(xiàn)了電鏡的自動設(shè)置和許多其它自動操作。

FERA3 XM

FERA3 XM是一款由計算機(jī)全控制的Xe等離子聚焦離子束（i-FIB）場發(fā)射掃描電子顯微鏡，可選配氣體注入系統(tǒng) (GIS)，可在高真空和低真空模式下工作，其具有突出的光學(xué)性能、清晰的數(shù)字化圖像、成熟和用戶界面友好的SEM/FIB/GIS操作軟件等特點?；赪indows™平臺的操作軟件提供了簡易的電鏡操作和圖像采集，可以保存標(biāo)準(zhǔn)文件格式的圖片，可以對圖像進(jìn)行管理、處理和測量，實現(xiàn)了電鏡的自動設(shè)置和許多其它自動操作。