德國 PIglideRM轉(zhuǎn)臺

P-611.1 線性壓電陶瓷定位系統(tǒng)

§ 緊湊型設(shè)計(jì)：表面為44×44毫米

§ 行程120微米

§ 分辨率達(dá)0.2納米

§ 其經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的系統(tǒng)（機(jī)械部件和控制 器）

§ PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽 命

§ 可提供Z向位移臺、XY、XZ和XYZ版本

 德國PI (Physik Instrumente)

應(yīng)用領(lǐng)域

§ 顯微鏡

§ 納米定位

§ 生物技術(shù)

§ 測試應(yīng)用

§ 半導(dǎo)體技術(shù)

§ 光子

§ 光纖定位

PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

的PICMA壓電陶瓷促動器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動器的使用壽命比傳統(tǒng) 的聚合物絕緣促動器長達(dá)十倍。它們被證明可實(shí)現(xiàn)*運(yùn)行1000億個(gè)循環(huán)。

零間隙柔性鉸鏈導(dǎo)向帶來高導(dǎo)向精度

柔性鉸鏈導(dǎo)向無需維護(hù)、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實(shí)現(xiàn)高負(fù)載能力，且它們對沖擊和振動不敏感。 它們真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

PI (Physik Instrumente) 各系列型號如下

PI (Physik Instrumente) M-060.PD

PI (Physik Instrumente) C-844.4DC

PI (Physik Instrumente) E-503.00S

帶空氣軸承的PIglideRM轉(zhuǎn)臺

無摩擦，適用于分度、定位、掃描、測量技術(shù)

A-62x

§ 無塵室兼容

§ 運(yùn)動平臺直徑為50毫米至300毫米

§ 負(fù)載容量達(dá)4170牛

§ 偏心度和平面度< 200納米

§ 可水平或垂直安裝

產(chǎn)品概述

PIglide RM系列電機(jī)驅(qū)動轉(zhuǎn)臺設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)高準(zhǔn)確性、精度和剛性以及便捷使用，可在任意方向上安裝。 多種選項(xiàng)可組合在一起創(chuàng)建一種非常適用于點(diǎn)對點(diǎn)分度或恒速掃描的解決方案。 RM平臺提供優(yōu)異的運(yùn)動精度、平面度和擺動性能。由于無摩擦、無需維護(hù)或潤滑，其非常適用于在無塵室中使用。

三相力矩電機(jī)

§ 無刷

§ 無槽

§ 低齒槽轉(zhuǎn)矩

絕對編碼器（可選配）

絕對編碼器提供明確的位置信息，幫助即刻確定位置。這意味著在接通期間無需定位，提高了操作過程中的效率和安 全性。

附件和可選配件

§ 編碼器

§ 可選配偏擺臺

§ 定制安裝法蘭

§ 真空接頭

§ 滑環(huán)

§ PIglide過濾器和空氣預(yù)處理器

§ 單軸或多軸運(yùn)動控制器和伺服驅(qū)動器

§ 花崗巖底座板和隔振系統(tǒng)

應(yīng)用領(lǐng)域

光學(xué)對準(zhǔn)、計(jì)量、檢驗(yàn)系統(tǒng)、校準(zhǔn)、掃描

訂購信息

A-621.025A1

PIglideRM轉(zhuǎn)臺，空氣軸承，50毫米運(yùn)動平臺直徑，25毫米軸頸長度，帶正弦/余弦信號傳輸?shù)脑隽拷嵌葴y量系統(tǒng)，81 92線/轉(zhuǎn)，無槽、無刷三相力矩電機(jī)

A-621.025B1

PIglideRM轉(zhuǎn)臺，空氣軸承，50毫米運(yùn)動平臺直徑，25毫米軸頸長度，帶BiSSC信號傳輸?shù)慕^對角度測量系統(tǒng)，0.0015微弧度傳感器分辨率，無槽、無刷三相力矩電機(jī)

A-623.025A1

PIglideRM轉(zhuǎn)臺，空氣軸承，100毫米運(yùn)動平臺直徑，25毫米軸頸長度，帶正弦/余弦信號傳輸?shù)脑隽拷嵌葴y量系統(tǒng)，1 5744線/轉(zhuǎn)，無槽、無刷三相力矩電機(jī)

A-623.025B1

PIglideRM轉(zhuǎn)臺，空氣軸承，100毫米運(yùn)動平臺直徑，25毫米軸頸長度，帶BiSSC信號傳輸?shù)慕^對角度測量系統(tǒng)，0.0015微弧度傳感器分辨率，無槽、無刷三相力矩電機(jī)

A-623.050A1

PIglideRM轉(zhuǎn)臺，空氣軸承，100毫米運(yùn)動平臺直徑，50毫米軸頸長度，帶正弦/余弦信號傳輸?shù)脑隽拷嵌葴y量系統(tǒng)，1 5744線/轉(zhuǎn)，無槽、無刷三相力矩電機(jī)

A-623.050B1

PIglideRM轉(zhuǎn)臺，空氣軸承，100毫米運(yùn)動平臺直徑，50毫米軸頸長度，帶BiSSC信號傳輸?shù)慕^對角度測量系統(tǒng)，0.0015微弧度傳感器分辨率，無槽、無刷三相力矩電機(jī)

A-624.050A1

PIglideRM轉(zhuǎn)臺，空氣軸承，150毫米運(yùn)動平臺直徑，50毫米軸頸長度，帶正弦/余弦信號傳輸?shù)脑隽拷嵌葴y量系統(tǒng)，2 3600線/轉(zhuǎn)，無槽、無刷三相力矩電機(jī)

A-624.050B1

PIglideRM轉(zhuǎn)臺，空氣軸承，150毫米運(yùn)動平臺直徑，50毫米軸頸長度，帶BiSSC信號傳輸?shù)慕^對角度測量系統(tǒng)，0.0015微弧度傳感器分辨率，無槽、無刷三相力矩電機(jī)

A-627.075A1

PIglideRM轉(zhuǎn)臺，空氣軸承，300毫米運(yùn)動平臺直徑，75毫米軸頸長度，帶正弦/余弦信號傳輸?shù)脑隽拷嵌葴y量系統(tǒng)，4 7200線/轉(zhuǎn)，無槽、無刷三相力矩電機(jī)

A-627.075B1

PIglideRM轉(zhuǎn)臺，空氣軸承，300毫米運(yùn)動平臺直徑，75毫米軸頸長度，帶BiSSC信號傳輸?shù)慕^對角度測量系統(tǒng)，0.0015微弧度傳感器分辨率，無槽、無刷三相力矩電機(jī)

德國 PIglideRM轉(zhuǎn)臺