DEKTAKXT布魯克臺階儀/探針式表面輪廓儀）可以提供更高的重復(fù)性和分辨率，測量重復(fù)性可以到5?。臺階儀這項性能的到了過去四十年Dektak技術(shù)，更加鞏固了其行業(yè)。不論應(yīng)用于研發(fā)還是產(chǎn)品測量，通過在研究工作中的廣泛使用，DektakXT能夠做到功能更強(qiáng)大，操作更簡易，檢測過程和數(shù)據(jù)采集更完善。第十代DektakXT臺階儀（探針式表面輪廓儀）的技術(shù)，使納米尺度的表面輪廓測量成為可能，從而可以廣泛的應(yīng)用于微電子器件，半導(dǎo)體，電池，高亮度發(fā)光二管的研發(fā)以及材料科學(xué)領(lǐng)域。

DEKTAKXT布魯克臺階儀/探針式表面輪廓儀）

　　1、使用溫度條件：10-30℃；

　　2、臺階高度重現(xiàn)性低于4A

　　3、Single-arch設(shè)計提供掃描穩(wěn)定性

　　4、*的“智能電子器件”設(shè)立了新低噪音基準(zhǔn)

　　5、新硬件配置使數(shù)據(jù)采集時間縮短

　　6、64-bit，Vision64同步數(shù)據(jù)處理軟件，使數(shù)據(jù)分析速度高了10倍

　　7、頻率，操作簡易

　　8、直觀的Vision64用戶界面，操作簡易

　　9、針尖自動校準(zhǔn)系統(tǒng)

　1968年臺階儀DektakⅠ面世以來，迄今已有50多年的發(fā)展歷程。通過整合技術(shù)，突破創(chuàng)新，Dektak系列臺階儀已經(jīng)來到了第十代，目前我們主要有兩種型號:桌面式DektakXT（圖1），樣品兼容可到8寸；另外一款是集成了防震臺一體化的落地式DektakXTL，它的兼容樣品可以達(dá)到12寸（圖2）。布魯克第十代Dektak產(chǎn)品在過去五十年不斷的技術(shù)創(chuàng)新，得到眾多使用客戶的認(rèn)可。

　　DektakXT是使用single-arch設(shè)計的探針輪廓儀，single-arch設(shè)計及智能電子器件，大大改善了設(shè)備穩(wěn)定性，進(jìn)一步提高防震性能。DektakXT在測量臺階高度重復(fù)性方面具有優(yōu)異的表現(xiàn)，臺階高度重復(fù)性可低于4?。使用single-arch結(jié)構(gòu)比原先的懸臂梁設(shè)計更加穩(wěn)固，降低了對不利環(huán)境條件的敏感性，如聲音和震動噪音。

　　對多用戶儀器而言，能快速輕松更換探針以適應(yīng)不同應(yīng)用是必要的。Dektak臺階儀的轉(zhuǎn)接頭和探針通過強(qiáng)磁吸附進(jìn)行連接，在探針更換工具的配合下，更換探針簡單、方便、易操作（圖3）。DektakXT新的針尖自動校準(zhǔn)，消除任何潛藏的針尖更換/校準(zhǔn)隱患。這一技術(shù)讓其他困難并耗時的任務(wù)變得輕松且快速。為盡量滿足使用的要求，Bruker提供了范圍廣泛的標(biāo)準(zhǔn)和客戶定制探針規(guī)格，包括用于深溝渠測量的高徑比針尖。

　　作為探針式表面輪廓儀核心的部件—傳感器，DektakXT采用LVDT傳感器原理，即LinearVariableDifferentialTransformer線性可變差動變壓器（圖4），其優(yōu)勢包括：無摩擦測量、延長機(jī)械壽命、提高分辨率、零位可重復(fù)性、軸向、堅固耐用、環(huán)境適應(yīng)性、輸入/輸出隔離。

數(shù)據(jù)采集和分析速度

　　直接驅(qū)動掃描平臺，DektakXT減少了掃描間的時間，而沒有影響分辨率和背景噪聲。這一改進(jìn)大范圍掃描3D形貌或者對于表面應(yīng)力長程掃描（就探針輪廓儀而言，通常是耗時的）的掃描速度。在行業(yè)的質(zhì)量和重現(xiàn)性前提下，DektakXT可以將數(shù)據(jù)采集處理的速度。另外，DektakXT采用Bruker64-bit數(shù)據(jù)采集分析同步操作軟件Vision64，它可以大范圍3D形貌圖的高數(shù)據(jù)量處理速度，并且可以加快濾波器的工作速度和多模式掃描是的數(shù)據(jù)分析。Vision64還具有行業(yè)內(nèi)的直觀用戶界面，簡化了實驗操作設(shè)置，自動完成多掃描模式，讓重復(fù)和常規(guī)的實驗操作變得更快速簡潔。。