美國TMC主動隔震臺

≥2Hz，≥90%隔振效果！TMC隔振平臺，敏感儀器行業(yè)的標準解決方案

公司致力于高水準TMC隔振臺系統(tǒng)的研發(fā)和制造，為高精密和高穩(wěn)定性的科研領(lǐng)域以及工業(yè)生產(chǎn)提供所需要的條件。TMC主動隔振系統(tǒng)從簡單的桌面式隔振顯微鏡底座到大尺寸的光學(xué)平臺系統(tǒng)均有深入研究。公司憑借具有數(shù)字控制器和壓電驅(qū)動器的精密的主動和慣性振動消除系統(tǒng)。同時也讓TMC公司的主動光學(xué)隔震系統(tǒng)成了諸如生命科學(xué)、半導(dǎo)體、光子學(xué)、電子顯微鏡和計量學(xué)等科研領(lǐng)域和工業(yè)生產(chǎn)等敏感儀器對應(yīng)嘈雜環(huán)境的標準解決方案，深受歡迎和認可。TMC的產(chǎn)品使用為*的垂直集成制造工廠設(shè)計和生產(chǎn)，并且承諾為客戶提供優(yōu)良的全球服務(wù)。

TMC隔振臺的主要性能體現(xiàn)在于其減震的頻率范圍，以及有效減震百分比。TMC主動隔振系統(tǒng)從0.6Hz開始具備減震效果，并且具有對2Hz以上的有效頻率范圍的震動減震效可達90%的優(yōu)良性能。TMC公司的主動光學(xué)隔震系統(tǒng)主要采用壓電主動震動消除，對比傳統(tǒng)的空氣隔震，具有更優(yōu)異的性能。TMC隔震系統(tǒng)的出現(xiàn)，使得許多高精度和穩(wěn)定性要求的實驗和儀器運用成為可能，同時也促進了主動隔振臺行業(yè)的技術(shù)革新。TMC隔震臺的“剛性”式慣性消振支撐系統(tǒng)是任何振動敏感型儀器的理想選擇，它使此類工具能夠在嘈雜的環(huán)境中以高標準運行。

TMC隔振臺的主要特點：

-始于0.6Hz的隔振

-2Hz開始的主動減振效果可達90%的優(yōu)良的隔振效果

-高靈敏度，低頻慣性速度傳感器

-沒有任何空氣隔振系統(tǒng)的局限性

-特別的串行設(shè)計和專有的高力壓電技術(shù)

TMC隔振臺的主要應(yīng)用：

-聚焦離子束隔振

-掃描電子顯微鏡隔振

-超精密儀器和機械設(shè)備隔振

-半導(dǎo)體工業(yè)隔振

-小型雙光束儀器隔振

-高大工具的建筑地面振動隔離

-*半導(dǎo)體工廠中的精密微光刻、計量和檢測設(shè)備的震動隔離

TMC STACIS Ⅲ：          

STACIS III是一種靈活的高級主動隔振系統(tǒng)。STACIS采用*的慣性振動傳感器、*的控制算法和*的壓電致動器，通過連續(xù)測量地面活動，然后擴展和收縮壓電致動器來過濾地面運動，以實時消除振動。STACIS III包括一個全新的改進型數(shù)字控制器DC-2020。這款全新的高級控制系統(tǒng)在前后面板上采用了新的雙核處理器、以太網(wǎng)以及USB串行端口，為用戶提供了現(xiàn)代化且易于使用的圖形用戶界面（GUI）。STACIS在全球已擁有數(shù)百個成功的安裝案例，是理想的隔振系統(tǒng)，適用于對振動為敏感的儀器。

STACIS Quiet Island：

       半導(dǎo)體制造工廠、納米技術(shù)中心、納米工廠和其他精密制造和研究中心通常將潔凈室與活動假地面系統(tǒng)結(jié)合在一起，以滿足復(fù)雜的設(shè)施要求（管道、電纜、燃氣管道等）和保持嚴格的清潔標準。這種地面不適用于對振動敏感的生產(chǎn)、檢測和計量設(shè)備?；顒拥孛鏌o法為這些工具提供必要的安靜振動環(huán)境。TMC的Quiet Island用一個固定在下面底層地面上的“安靜島”替換一部分活動地面區(qū)域，提供了一種創(chuàng)新的解決方案。Quiet Island包括一個兼容潔凈室的平臺頂部和一個應(yīng)用和現(xiàn)場特定的支撐結(jié)構(gòu)。

SEM-Base Ⅵ：

              SEM-BaseⅥ 是下一代STACIS主動壓電消振產(chǎn)品。SEM-Base VI被設(shè)計用于支撐所有商用掃描電子顯微鏡（SEM）以及許多聚焦離子束（FIB）和小型雙光束儀器。SEM-Base VI具有更好的隔振性能、更快、更強大的控制器和高級圖形用戶界面（GUI）。

TOOL-Base:

      TOOL-Base是一種*的主動壓電地面減振平臺，用于超精密儀器和機械設(shè)備。它適用于比典型的商業(yè)掃描電子顯微鏡（SEM）更大或更重的儀器，而且設(shè)備有高度限制。

              TOOL-Base不局限于單一的配置，而是可以被設(shè)計成與工具的尺寸、腿的布局和高度要求緊密匹配。此外，它的容量可以與有效載荷的質(zhì)量相匹配。

TOOL-Base優(yōu)勢:

-硬安裝技術(shù)：TOOL-Base是帶有內(nèi)部氣動振動控制系統(tǒng)的理想工具，提供一個穩(wěn)定和堅硬的平臺，以支持振動敏感的工具。

-主動慣性振動消除 ：TOOL-Base采用高靈敏度，低頻慣性速度傳感器，以實現(xiàn)高水平的振動衰減，即使在安靜的地面上。

-采用壓電技術(shù)的串行設(shè)計： 特別的串行設(shè)計和具有知識產(chǎn)權(quán)的高功率壓電技術(shù)使得0。6Hz開始的有源帶寬很寬，并且在2Hz開始的主動減振90%達到慣性主動減振效果。

-配置靈活性：TOOL-Base的配置可以調(diào)整，以適應(yīng)刀具的底座和高度要求

SEM-Base LP:

       SEM-Base LP是TMC標準SEM-Base有源壓電振動消除平臺的定制低調(diào)版本。相比SEM-Base，SEM-Base LP易于安裝，提供出色的性能并經(jīng)過人體工程學(xué)優(yōu)化。輕巧簡便的改進，并不影響其功能——特別的STACIS壓電技術(shù)，并具有與我們行業(yè)標準SEM-Base VI相同的振動消除性能。

LaserTable-Base:

       LaserTable-Base™是現(xiàn)有光學(xué)平臺隔振技術(shù)的一大飛躍。通常，光學(xué)平臺由低頻氣動隔振系統(tǒng)支撐。雖然在隔離高頻方面非常有效，但這些被動系統(tǒng)實際上放大了關(guān)鍵的1至3 Hz范圍內(nèi)的振動。

TMC的STACIS通過結(jié)合壓電致動器和慣性振動傳感器的專有技術(shù)克服了這些限制，可消除而不會放大極低頻振動。LaserTable-Base將這兩項技術(shù)（空氣和STACIS）整合到一個集成的消振系統(tǒng)中。由于兩個串聯(lián)隔振系統(tǒng)的綜合效應(yīng)，這實現(xiàn)了低頻率消振和高頻隔振水平。

LaserTable-Base的上部氣動部分采用模塊化設(shè)計，可互換。它可以結(jié)合TMC的Gimbal Piston、MaxDamp空氣隔振器或剛性、非隔振支架，具體取決于應(yīng)用要求。      

LaserTable-Base 規(guī)格：

-采用知識產(chǎn)權(quán)STACIS®技術(shù)

-主動慣性消振系統(tǒng)

-消振從低于1 Hz開始

-加長行程的壓電致動器，高達60微米。

-6個主動自由度

-由兩個串聯(lián)隔振系統(tǒng)組成，可實現(xiàn)佳隔振效果

-采用知識產(chǎn)權(quán)MaxDamp®空氣隔振器

-簡單、堅固且經(jīng)濟高效

-可選的擱板，用于在工作臺下方安裝設(shè)備

-包括TMC的DC-2020數(shù)字控制器

Stage-Base:

              TMC繼續(xù)在*技術(shù)的基礎(chǔ)上開發(fā)新的解決方案，以滿足半導(dǎo)體工具對其隔振系統(tǒng)提出的挑戰(zhàn)性要求。Stage-Base 450是專為帶高精度電動X-Y平臺的高級半導(dǎo)體工具而設(shè)計的主要消振系統(tǒng)。這些工具不但需要極其有效的消振性能，它們還要求由平臺引起的有效載荷運動能夠非?？焖俚胤€(wěn)定，以最大限度地提高工具吞吐量。通過增加帶有前饋控制的VCM，可以縮短穩(wěn)定時間，進一步提高吞吐量，從而為移動平臺應(yīng)用提供主動振動和運動消除系統(tǒng)。

Stage-Base 450 規(guī)格：

-采用特別的STACIS®技術(shù)

-采用高力、加長行程的壓電致動器

-有效載荷的位置可重復(fù)性在微米以內(nèi)

-框架安裝設(shè)計

-6個主動自由度

-可選的VCM前饋和/或反饋

-始于0.6 Hz的主動隔振

-響應(yīng)平臺運動的快速穩(wěn)定時間

-無軟空氣懸架

-通過USB 2.0實現(xiàn)基于PC的圖形用戶界面（GUI）的高速數(shù)字控制器

-簡單、堅固且經(jīng)濟高效

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