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customized 聚焦離子束系統(tǒng)FIB

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離子束系統(tǒng)

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業(yè)。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項,軟件著作權 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

產地 進口

一、產品概述:

聚焦離子束系統(tǒng)(FIB)是一種高精度的材料加工和分析工具,利用聚焦的離子束對樣品進行雕刻、切割和表征。FIB技術廣泛應用于半導體制造、材料科學和納米技術領域,能夠實現(xiàn)對微小結構的精確操作和分析。

二、設備用途/原理

·設備用途

FIB系統(tǒng)主要用于納米級材料的加工與表征,包括樣品的切割、沉積、刻蝕以及缺陷分析。它在半導體行業(yè)中用于制造和修復微電子器件,也可用于材料的微觀結構分析和三維成像,幫助研究人員深入理解材料的特性和行為。

·工作原理

FIB的工作原理是通過加速的離子束(通常是銦離子)轟擊樣品表面,導致材料的原子被擊出或沉積。離子束的聚焦能力使其能夠精確控制加工區(qū)域的大小和深度。通過調節(jié)離子束的能量和曝光時間,研究人員可以實現(xiàn)高精度的材料去除或添加。同時,F(xiàn)IB系統(tǒng)通常配備有掃描電子顯微鏡(SEM),可以在加工過程中實時觀察樣品,提供高分辨率的圖像和分析數(shù)據(jù)。此結合使得FIB成為一項強大的材料研究和加工工具。











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