超高精度直接驅(qū)動(dòng)垂直線性平移臺
- 公司名稱 上海激譜光電有限公司
- 品牌 Newport/美國
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2024/11/27 18:25:23
- 訪問次數(shù) 608
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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 產(chǎn)品種類 | 電動(dòng) |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
超高精度直接驅(qū)動(dòng)垂直線性平移臺產(chǎn)品規(guī)格
| 型號 |  | |
| XMS50V | XMS100V | |
| 行程范圍 | 50 mm | 100 mm |
| 最大速度 | 300 mm/s | 300 mm/s |
| 中心負(fù)載能力 | 100 N | 100 N |
| 最小位移增量 | 0.05 µm | 0.05 µm |
| 精度，保證值 | ± 0.75 µm | ± 0.75 µm |
| 雙向重復(fù)精度，保證值 | ± 0.05 µm | ± 0.05 µm |
| 限位開關(guān) | Optical, fiducial on encoder | Optical, fiducial on encoder |
| 原點(diǎn) | Optical, at center of travel, including mechanical zero signal | Optical, at center of travel, including mechanical zero signal |
| 電纜長度 | 5 m | 5 m |
| 俯仰順應(yīng)性 | 2.5 µrad/Nm | 2.5 µrad/Nm |
| 滾轉(zhuǎn)順應(yīng)性 | 2.0 µrad/Nm | 2.0 µrad/Nm |
| 偏擺順應(yīng)性 | 3.5 µrad/Nm | 3.5 µrad/Nm |
| 直線度，平面度 | ± 0.75 µm | ± 0.75 µm |
| 重量 | 3.5 kg | 3.5 kg |
| MTBF | 20,000 h | 20,000 h |
超高精度直接驅(qū)動(dòng)垂直線性平移臺特征
超高性能電動(dòng)臺技術(shù)
Newport的XM系列直線電機(jī)平臺具有優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能。 XMS100V垂直工作臺由安裝在高平坦度垂直板上的標(biāo)準(zhǔn)XMS100線性工作臺和連接至滑架的低摩擦氣缸組成。結(jié)果是一個(gè)垂直平臺，可為聚焦，傳感器測試和校準(zhǔn)，直接激光光刻，光纖對準(zhǔn)，超精密組裝等應(yīng)用提供超高精度和長行程。該視頻演示了由XM線性和垂直平臺構(gòu)成的XYZ運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)。
平衡選項(xiàng)
直接驅(qū)動(dòng)電機(jī)、借助于平衡負(fù)載、抵消重力的影響、減輕電機(jī)的工作并具有線性電機(jī)的所有優(yōu)勢。氣動(dòng)平衡選項(xiàng)可針對不同負(fù)載進(jìn)行調(diào)整。即使在切斷電機(jī)電源時(shí)，磁平衡選項(xiàng)也可防止托架向下漂移。
磁平衡
防蠕動(dòng)式交叉滾子軸承
與楔形設(shè)計(jì)相比，由相配對的抗蠕變交叉滾子軸承組成的直接垂直導(dǎo)軌，可在高靈敏度操作中實(shí)現(xiàn)無波紋運(yùn)動(dòng)，同時(shí)防止罩移位。
高精密線性編碼器
高精密玻璃線性編碼器可提供精確的位置反饋，支持 50 nm 的 MIM。該低熱膨脹標(biāo)尺的精確對準(zhǔn)和安裝使溫度變化對平移臺重復(fù)性和精度的影響降至很低。
T 形托架
在 XMS-V 上使用的 T 形托架進(jìn)行過剛度優(yōu)化，并且與使用 C 形托架設(shè)計(jì)的平移臺相比，它支持更大的懸臂負(fù)載。保持平移臺預(yù)載荷要求有改進(jìn)的剛度。
高精密平滑運(yùn)動(dòng)
無鐵直接驅(qū)動(dòng)技術(shù)支持高動(dòng)態(tài)運(yùn)動(dòng)，基本上沒有反沖、滯后、卷繞或靜摩擦；導(dǎo)致持續(xù)降低和更多可重復(fù)的跳動(dòng)。此外，由于沒有驅(qū)動(dòng)螺絲，可實(shí)現(xiàn)高精密定位所需的無波紋運(yùn)動(dòng)
擴(kuò)展垂直平移臺的功能
只有 XMS-V 通過更高的精度和改進(jìn)的動(dòng)態(tài)運(yùn)動(dòng)達(dá)到垂直平移臺性能的新高度。其增強(qiáng)的性能可解決更廣泛的具有挑戰(zhàn)性的應(yīng)用。
XMS-V負(fù)載圖
免費(fèi)提供計(jì)量報(bào)告
Newport 保證根據(jù) ASME B5.57 和 ISO 230-2 標(biāo)準(zhǔn)測量和記錄的規(guī)格值。典型性能值比可保證值高出兩倍。
Compatible Controllers
Compatible motion controllers for these XM series linear motor/direct drive driven stages are:
●XPS-RLD Motion Controller (2 or 4 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module and XPS-DK22 Cable Kit.
●XPS-D Motion Controller (2 , 4 , 6 or 8 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module, and XPS-DK22 Cable Kit.
See our Stage-Controller Compatibility technical note for complete stages and controllers compatibility.
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