ZVR-PC 用于晶片定位的集成垂直旋轉(zhuǎn)臺
- 公司名稱 上海激譜光電有限公司
- 品牌 Newport/美國
- 型號 ZVR-PC
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2024/11/27 19:52:02
- 訪問次數(shù) 463
聯(lián)系方式:高琴18117546256 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
產(chǎn)地類別 | 進口 | 產(chǎn)品種類 | 電動 |
---|---|---|---|
價格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
特征
有效載荷設(shè)計
ZVR 通過沿著旋轉(zhuǎn)平臺外圓周的三個點(以 120 度分開)剛性地支撐和驅(qū)動有效載荷。常規(guī)設(shè)計在旋轉(zhuǎn)臺中心使用一個單個凸輪、楔塊或螺絲。具有串聯(lián)導(dǎo)軌和驅(qū)動機制的 Newport 的三點設(shè)計具有很多優(yōu)點,非常適用于輕微到不平衡載荷應(yīng)用(例如,晶片探測),可以沿著卡盤的外邊緣位置施加垂直力。因這些偏心負載造成的角變形降低到最小程度,并且在垂直運動期間也不存在彎曲現(xiàn)象。
開放式孔徑
ZVR 設(shè)計的一個重要性能是含有一個穿過轉(zhuǎn)臺中心的 50 mm 通光孔徑,以支持通過電纜、線路和其他工具。
可調(diào)限位開關(guān)
ZVR 具有一個調(diào)節(jié)范圍為 4 mm 的上限開關(guān),使用戶可以設(shè)置垂直行程的上限。
可調(diào)限位開關(guān)
ZVR 具有一個調(diào)節(jié)范圍為 4 mm 的上限開關(guān),使用戶可以設(shè)置垂直行程的上限。
免費提供計量報告
Newport 保證根據(jù) ASME B5.57 和 ISO 230-2 標準測量和記錄的規(guī)格值。典型性能值比可保證值高出兩倍。
COMPATIBLE CONTROLLERS
Compatible motion controllers for ZVR-PC are:
·XPS-RLD Motion Controller (2 or 4 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module.
·XPS-D Motion Controller (2 , 4 , 6 or 8 Axis): Requires an XPS-DRV11 Driver Module.
·ESP302 Motion Controller (1 , 2 , or 3 Axis): Plug and Play compatible with ESP302 Motion Controller.
·SMC100 Motion Controller: SMC100CC for ?-axis and SMC100PP * for Z-axis.
* Minimum Incremental Motion for Z-axis is 0.25 µm with SMC100PP controller.