單晶釔鐵石榴石YIG薄膜

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YIG薄膜產(chǎn)品描述

昊量光電全新推出的單晶釔鐵石榴石YIG薄膜，由于其微波損耗非常低，釔鐵石榴石 （YIG） 和摻雜 YIG 等單晶鐵磁材料被用于微波技術(shù)中的器件。

YIG薄膜設(shè)計(jì)與功能:

通過(guò)液相外延將低缺陷YIG薄膜沉積在單晶釓鎵石榴石（GGG）上。功能晶圓的尺寸可達(dá)三英寸，可以用作基板或用于磁力和自旋電子器件的圖案化。

YIG薄膜技術(shù)規(guī)格：

YIG 晶圓 – 3 英寸

• GGG襯底上的YIG：外延生長(zhǎng)的單晶YIG

• 提供不同厚度：100 nm-20 μm（參見(jiàn)庫(kù)存清單，<可根據(jù)要求提供 100 nm）

• 表面粗糙度 （RMS）： 0.5 nm

• FMR 線寬 （FWHM）：10 GHz 時(shí)< 2 Oe

• 厚度偏差（80%，中心）：1%

• 單面光學(xué)拋光（可根據(jù)要求在雙面進(jìn)行涂層）

• GGG基板厚度：0.5 ± 0.05 mm

• 晶體取向：（111）、（（100）根據(jù)要求）

YIG薄膜產(chǎn)品亮點(diǎn)：

• 具有極低表面粗糙度的低缺陷薄膜

• 膜厚均勻性高（中心區(qū)域>99%）

• 在市場(chǎng)范圍內(nèi)使用我們的材料進(jìn)行前沿研究

YIG薄膜優(yōu)勢(shì)：

LPE技術(shù)與其他涂層工藝的比較：

• 實(shí)現(xiàn) 100 nm 至 20 μm 的薄膜厚度，同時(shí)在整個(gè)薄膜厚度上保持高水平的結(jié)構(gòu)

• 可以形成非常光滑的表面

• 低應(yīng)變薄膜

  
  

YIG薄膜應(yīng)用領(lǐng)域：

由于其非常低的微波損耗，單晶鐵磁材料，如釔鐵石榴石 （YIG） 及其等價(jià)取代的同系物，用于微波技術(shù)中的器件。例如，外延YIG涂層可用于需要微米厚薄膜的電子可調(diào)延遲塊和移相器。其他應(yīng)用包括集成非互易器件，如磁光隔離器和環(huán)行器，以及用于集成光學(xué)器件的布拉格單元調(diào)制器。

目前，國(guó)際上正在努力開(kāi)發(fā)這些絕緣體薄膜，作為信息處理中具有微納米結(jié)構(gòu)的自旋波器件（YIG-磁力學(xué)）的有前途的基礎(chǔ)材料，并通過(guò)合適的界面將它們與電子或自旋電子元件耦合。這些組件的小型化需要亞微米范圍內(nèi)的薄膜厚度。外延薄膜是使用液相外延 （LPE） 技術(shù)從高溫溶液中生產(chǎn)出來(lái)的。LPE涂層技術(shù)有助于生產(chǎn)微米和亞微米范圍的外延釔鐵石榴石層，并通過(guò)適當(dāng)?shù)奶娲镩_(kāi)發(fā)定制的功能層。

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