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VTC-16-SM小型高能直流磁控濺射儀

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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北京鴻瑞正達(dá)科技有限公司—實(shí)驗(yàn)室整體建設(shè)解決方案集成者:
鴻瑞正達(dá)主要服務(wù)于高等院校、科研院所和研發(fā)企業(yè),專注于科研領(lǐng)域,助力科研成果轉(zhuǎn)化。公司提供材料研究成套設(shè)備及整套解決方案,包括:高壓科學(xué)材料、金屬材料、電池研發(fā)、地質(zhì)地礦材料、脆性材料、薄膜材料等研究領(lǐng)域的科研成套設(shè)備。

我們的服務(wù)理念是:讓科研更高效、便捷。

 

 

 

 

 

 

 

 

實(shí)驗(yàn)室設(shè)備,材料科學(xué),質(zhì)譜儀,電化學(xué),電池,催化

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 價(jià)格區(qū)間 面議
應(yīng)用領(lǐng)域 電子,電氣,綜合

VTC-16-SM小型高能直流磁控濺射儀

產(chǎn)品簡介:

VTC-16-SM小型高能直流磁控濺射儀是一款桌面式等離子磁控濺射鍍膜儀,包含一個(gè)2英寸水冷靶頭(另有1英寸靶頭可選)和可旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)。水冷靶頭使鍍膜后的樣品表面不會(huì)因鍍膜溫度過高而變形,甚至損壞樣品;樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn),可以使樣品邊旋轉(zhuǎn)邊鍍膜使鍍膜后的樣品表面膜后均勻。設(shè)備外形小巧,性價(jià)比高,是制作各種金屬薄膜理想的鍍膜設(shè)備,可選配各種金屬靶材和真空泵搭配設(shè)備使用。

VTC-16-SM小型高能直流磁控濺射儀采用PLC控制面板對(duì)設(shè)備進(jìn)行控制,操作方便直觀。

用直流磁控濺射儀可獲得單相Al膜

VTC-16-SM小型高能直流磁控濺射儀

產(chǎn)品名稱

VTC-16-SM 小型高能直流磁控濺射儀

產(chǎn)品型號(hào)

VTC-16-SM

技術(shù)參數(shù)

1、輸入電源: 220VAC 50/60Hz

2、濺射電流: 0-150 mA 可調(diào)

3、功率:<2KW

4、輸出電壓: 1600VDC( max)

5、濺射腔體

采用石英腔體,尺寸: 166mm OD x 150mm ID x 290mm H

密封: 采用 O 形密封圈密封

6、濺射頭&樣品臺(tái)

2 英寸帶水冷的磁控濺射頭(注意:水冷機(jī)不是標(biāo)配) 另有 1 英寸靶頭可選(圖一)

一個(gè)直徑 50mm 不銹鋼樣品臺(tái),樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn), 旋轉(zhuǎn)速率 0-5 RPM    (圖五) 安裝有一可手動(dòng)操作的濺射擋板(圖二、三)

樣品臺(tái)和靶頭之間的距離可以調(diào)節(jié),調(diào)節(jié)范圍: 30-80mm  (圖二、三)

靶頭支架,可以在非濺射狀態(tài)放置濺射靶頭(圖四)

濺射面積: 4 英寸( max )(參考值,詳情請點(diǎn)擊)

圖一           圖二       圖三         圖四           圖五

7、控制面板

6"PLC 集成觸摸屏控制面板,可控制真空、電流、靶材位置和基片加熱溫度

8、真空系統(tǒng)

安裝有 KF25 真空接口

VTC-16-SM小型高能直流磁控濺射儀

VTC-16-SM小型高能直流磁控濺射儀

VTC-16-SM小型高能直流磁控濺射儀


對(duì)于濺射各種金屬靶材,需要摸索理想的濺射參數(shù),下表是本公司實(shí)驗(yàn)所設(shè)置的參數(shù)

靶材種類

真空度(Pa)

濺射電流(mA)

時(shí)間(s)

濺射次數(shù)

Au

31-33

28-30

100

1

Ag

31

28

100

1

產(chǎn)品外型尺寸

L460 mm × W 330 mm × H 520 mm

凈重: 20 kg (不包含泵及水冷機(jī))

可選配件

可在本公司選購薄膜測厚儀安裝在濺射儀上(見圖一)

可選加熱樣品臺(tái),加熱溫度可達(dá) 500℃(見圖二、三)

可選浮子流量計(jì)來精 確控制進(jìn)氣量(見圖四)

VTC-16-SM小型高能直流磁控濺射儀

VTC-16-SM小型高能直流磁控濺射儀

VTC-16-SM小型高能直流磁控濺射儀

VTC-16-SM小型高能直流磁控濺射儀

圖一             圖二            圖三           圖四

質(zhì)量認(rèn)證

CE 認(rèn)證

質(zhì)保期

一年保修,終身技術(shù)支持

特別提示: 1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)


注意:產(chǎn)品內(nèi)部安裝有高壓元件,禁止私自拆裝,帶電移動(dòng)機(jī)體。

氣瓶上應(yīng)安裝減壓閥(設(shè)備標(biāo)配不包括),保證氣體的輸出壓力限制在0.02兆帕以下,以安全使用。濺射頭連接到高電壓。為了安全,操作者必須在關(guān)閉設(shè)備前裝樣和更換靶。




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