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賽默飛 Helios 5 聚焦離子束掃描電子顯微鏡可以利用納米級分辨率實(shí)現(xiàn)快速3D表征毫米尺度材料

來源:賽默飛電子顯微鏡   2023年10月07日 14:09  
聚焦離子束掃描電子顯微鏡(Focused Ion Beam-Scanning Electron Microscope,簡稱FIB-SEM)是一種復(fù)合分析儀器,它結(jié)合了聚焦離子束(FIB)和掃描電子顯微鏡(SEM)的功能。

賽默飛 Helios 5 聚焦離子束掃描電子顯微鏡可以利用納米級分辨率實(shí)現(xiàn)快速3D表征毫米尺度材料。

1、它集成了SEM鏡筒(用于超高分辨率成像和先進(jìn)的分析能力)、等離子FIB鏡筒(可在所有操作條件下實(shí)現(xiàn)最佳性能)以及飛秒激光,可實(shí)現(xiàn)以從前無法通過商業(yè)化產(chǎn)品獲得的速率進(jìn)行原位材料刻蝕。
 
2、它加快了學(xué)術(shù)和工業(yè)用戶的研究步伐,使他們能夠在幾分鐘之內(nèi)完成材料的表征,而之前需要花費(fèi)的幾天的時(shí)間。研究人員不僅可以針對定點(diǎn)的毫米大小的截面在納米級分辨率下快速、準(zhǔn)確地成像且更具有統(tǒng)計(jì)意義,還可以設(shè)置大體積的3D分析,使其在一夜之間自動(dòng)完成,從而使顯微鏡空出時(shí)間來用于其他用途。
 
3、它使研究人員可以獲得準(zhǔn)確的大體積3D和次表面數(shù)據(jù),其速度比典型的鎵離子源聚焦離子束(Ga-FIB)快15,000倍。對于許多材料,聚焦離子束掃描電子顯微鏡可以在不到5分鐘的時(shí)間內(nèi)刻蝕數(shù)百微米的大截面。借助激光和等離子FIB的組合,現(xiàn)在可以進(jìn)行連續(xù)截面層析成像,并且當(dāng)與EDS和EBSD檢測器結(jié)合使用時(shí),可以擴(kuò)展到毫米級的3D元素和晶粒取向分析。
 
4、它使學(xué)術(shù)和工業(yè)實(shí)驗(yàn)室可以輕松處理具有挑戰(zhàn)性的非導(dǎo)電,對空氣敏感和對離子束敏感的材料。他們還可以加快故障分析的速度,同時(shí)可以快速訪問傳統(tǒng)FIB通常無法訪問的埋沒的下層。FIB-SEM可用于分析各種材料,包括金屬,電池,玻璃,陶瓷,涂層,聚合物,生物材料和石墨。
 
5、它快速,簡便,精確的高質(zhì)量樣品制備,適用于掃描透射電子顯微鏡(S / TEM)和原子探針層析技術(shù)(APT)。
 

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