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聚焦離子束電鏡是將液態(tài)金屬離子源產(chǎn)生的離子束經(jīng)過離子槍加速,聚焦后照射于樣品表面產(chǎn)生二次電子信號(hào)取得電子像。具有使用方便,產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定,分析高效等特點(diǎn)。具有特殊的樣品制備和三維成像能力，廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、納米技術(shù)、生命科學(xué)等領(lǐng)域。
聚焦離子束電鏡的主要應(yīng)用：
1.定點(diǎn)剖面形貌和成分表征：通過精確控制離子束的位置和能量，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品特定區(qū)域的精確切割和分析。
2.TEM樣品的制備：該產(chǎn)品是制備超薄樣品截面的理想選擇，為透射電子顯微鏡(TEM)分析提供高質(zhì)量的樣品。
3.微納結(jié)構(gòu)的處理：利用離子束的刻蝕功能，可以在納米尺度上直接“雕刻”微觀結(jié)構(gòu)，如量子點(diǎn)、納米線和微流體器件等。
4.芯片線路的重構(gòu)和修復(fù)：聚焦離子束電鏡允許對(duì)芯片進(jìn)行局部修改，包括連接路徑的切斷和重建，是電路設(shè)計(jì)驗(yàn)證和故障分析的重要工具。
聚焦離子束電鏡作為一種強(qiáng)大的分析工具，為納米尺度的材料加工和分析提供了重要支持，推動(dòng)了材料科學(xué)、電子工程和納米技術(shù)等領(lǐng)域的快速發(fā)展。
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