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電感耦合等離子體(ICP)是由高頻電流經感應線圈產生高頻電磁場，使工作氣體(通常為氬氣)形成等離子體，并呈現火焰狀放電。該等離子體具有良好的蒸發(fā)、原子化、激發(fā)和電離性能，是一個理想的光譜光源。在測量過程中，樣品由載氣引入霧化室霧化后，以氣溶膠形式進入等離子體的中心通道，在高溫惰性氣氛中被充分蒸發(fā)、原子化、電離和激發(fā)，使所含元素發(fā)射各自的特征譜線。根據各元素特征譜線的存在與否，可以定性分析樣品中元素的存在；由特征譜線的強度，可以定量分析相應元素的含量。
電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀主要由高頻振蕩器、耦合系統(tǒng)、等離子體發(fā)生管、超霧化裝置、檢測器等部分組成。其中，高頻振蕩器產生的高頻電流經過耦合系統(tǒng)連接在位于等離子體發(fā)生管上端的銅制內部用水冷卻的管狀線圈上。石英制成的等離子體發(fā)生管內有三個同軸氬氣流經通道，用于穩(wěn)定等離子體炬及冷卻石英管壁。
電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀在多個領域具有廣泛的應用，包括但不限于以下幾個方面：
水質監(jiān)測：用于檢測水樣中的多種金屬元素和非金屬元素(如重金屬、營養(yǎng)元素等)，以評估水體的污染情況和水質。
空氣和土壤分析：分析空氣中的微量金屬和土壤中的各種元素，監(jiān)測環(huán)境污染源及其對生態(tài)系統(tǒng)的影響。
食品安全：檢測食品中的重金屬(如鉛、鎘、汞等)和其他有害元素，確保食品符合安全標準。
藥物分析：檢測藥品中的微量元素和雜質，確保藥品的質量和純度。同時分析藥品原料中的元素含量，以保證藥品生產的穩(wěn)定性和一致性。
合金和金屬材料分析：測定合金和金屬材料中的元素組成，以控制合金配方和材料的質量。
半導體材料分析：分析半導體材料中的微量元素，確保材料的純度和性能。
礦石分析：檢測礦石樣品中的金屬和非金屬元素，評估礦藏的經濟價值。
地質樣品分析：分析地質樣品中的元素組成，幫助地質勘探和研究。
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